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Linee di processo SERIE TWS
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Linee di processo SERIE TWS

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Linee di processo SERIE TWS

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Sono linee di trattamento progettare e realizzate espressamente su specifiche esigenze di aziende che producono o utilizzano Wafer di Silicio.
La serie Syntech TWS Ã costituita da una struttura portante in acciaio inox totalmente rivestita in polipropilene e accessoriata con portelli e pannelli realizzati nello stesso materiale.
Nella zona superiore dedicata al trattamento, vengono ubicate le vasche e gli automatismi di trasporto cestelli. Tutta la zona sovrastante la linea di processo viene protetta con una carenatura integrale in polipropilene munita di ampia vetratura sulla parte frontale e cappe a flusso laminare sulla verticale delle vasche che consentono di ottenere un'ambiente "classe 1". Le vasche di trattamento possono essere in: PFA, in PVDF, o in Quarzo e sono facilmente asportabili. Vengono alloggiate e supportate da un plenum di contenimento in polipropilene a sua volta accessioriato con aspirazione perimetrale parzializzabile. Tutti i sistemi di aspirazione dedicati alle singole vasche vengono convogliati in un unico collettore e possono essere singolarmente attivati tramite serranda servoassistita. Le vasche possono ospitare indifferentemente soluzioni acide o alcaline e, se necessario, riscaldate tramite riscaldatori elettrici termoregolati rivestiti in teflon.
Nella zona sottostante il piano di trattamento vengono realizzati i circuiti idrici in PVDF e PFA che hanno la funzione di carico, scarico, ricircolo e ripristino automatico dei livelli nelle vasche.
Per la movimentazione dei cestelli la serie Syntech TWS puà essere equipaggiata con uno o pià Robot a sbalzo il cui carrello si muove lungo travi ubicate nella parte posteriore dell'impianto. Ogni Robot à munito di una struttura a sbalzo rivestita in HALAR che muovendosi verticalmente consente di impegnare i cestelli durante le fasi di processo. Tutti i movimenti dei Robot vengono eseguiti con accelerazioni e decelerazioni progressive regolate da controllo assi e gestiti da PLC posto nel quadro elettrico dell'impianto.
Le linee di trattamento serie Syntech TWS possono impiegare indifferentemente cestelli statici o cestelli che permettono la rotazione dei wafers ed essere integrate con magazzini di carico e scarico che consentono l'accumulo di pià cestelli.
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ID prodotto: 639886 | Venduto da Fornitore esterno
  • Data di pubblicazione del prodotto 17/07/2010
  • -
  • Modificato dal venditore 14/05/2014
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